RGA系列殘余氣體分析儀

可以定量和定性分析出真空腔中殘余氣體的濃度和成分。

◇100，200，和300amu
◇優(yōu)于1amu的分辨率
◇6個量級的動態(tài)范圍  
◇可檢測5 x 10^-14Torr

◇實(shí)時RGA  Windows和LabVIEW軟件 
◇質(zhì)譜，泄漏檢測和壓力對時間方式 
◇現(xiàn)場可更換的電子倍增器和燈絲 
◇RS232計(jì)算機(jī)接口

殘余氣體分析儀（RGA）劃分為100、200、300amu三種型號，其優(yōu)異的性能使其成為真空分析儀中產(chǎn)品。每一個RGA系統(tǒng)都由一個四級桿探針和電子控制單元組成，實(shí)時分析windows軟件包可以更方便用于數(shù)據(jù)采集和分析，并可進(jìn)行遠(yuǎn)程控制。

探測器類型                   標(biāo)準(zhǔn)法拉第杯(FC), 可選電子倍增 (EM)
分辨率                          優(yōu)于0.5amu
靈敏度(A/Torr)              2 × 10⁻⁴ (FC), <200 (EM).
探測限                       5 × 10⁻¹¹ Torr (FC),
                                       5 × 10⁻¹⁴ Torr (EM)
測試范圍                       10⁻⁴ Torr to UHV (FC)
                                      10⁻⁶ Torr to UHV (EM)
操作溫度                       70 °C (max.)
工作溫度                      300 °C (without ECU)